Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析仪在电子气半导体行业的应用

在半导体行业，对微量氧含量的把控严苛。一旦高纯氮气中的微量氧超标，产品极易受到污染，进而严重影响产品质量。所以，严格控制高纯氮气中的氧含量是保障半导体生产顺利进行的必要条件。在半导体工业中，为何要使用高纯氮气呢？

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电子气是集成电路、光电子和微电子制造不可或缺的基础支撑源材料，在VLSI、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料等领域应用广泛，而高纯氮气在其中优势良好。当下，电子行业生产对环境有一定影响，迫切需要转型升级，在改进工艺的同时降低环境影响。电子工业对氮气纯度要求高，需保持在99.999%以上才能满足生产标准。Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析仪在电子气半导体行业的应用
在半导体和集成电路制造中，高纯氮气营造的保护和清洁气氛，是保证产品质量的关键；在半导体电池、电子合金材料等行业，它用于电子产品的封装、烧结、退火、还原和储存；大规模集成电路、彩色电视显像管等元件处理时，高纯氮是重要的氮源，在单晶硅、多晶硅及外延行业，还能提升生产效率和产品质量；电子行业磁性材料成型中，经过喷砂、除水等步骤后，材料放入充满高纯氮气的氮气室加热，再经冷却保护，完成输出。Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析仪在电子气半导体行业的应用

在半导体行业，使用Servomex仕富梅DF - 310E微量氧分析仪测试微量氧含量已形成共识。DF31E专为工业气体应用中的准确样气测量设计，是下一代数字氧分析仪，集**微量氧测量、新图标菜单导航用户界面(GUI)和数字通信于一体。Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析仪在电子气半导体行业的应用

其参数表现良好，灵敏度高，ZD检测线达3ppb；测量范围广，*小0 - 0.5ppm，*大0 - 25%；工作温度在0 - 45℃，背景气体兼容性强。特点上，**触摸屏GUI界面操作直观简单，兼容多种接线输入和气体接口，顺磁传感器可测100%样气，可选AquaXact氧化铝传感器能同时监测O2和H2O，还支持多种数字通信。广泛应用于空气分离装置、医用/工业气体、特殊气体分布等领域，为半导体行业高纯氮气中微量氧的准确检测提供了有力保障。=Servomex仕富梅DF-310E微量氧分析仪在电子气半导体行业的应用

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